氣體的監(jiān)測和分析是檢查氣體質(zhì)量、確保用氣點(diǎn)或用氣設(shè)備能所用高純氣體的重要手段，也是保證安全生產(chǎn)的重要措施。高純氣體的監(jiān)測與分析，只有采用先進(jìn)的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得精i確的分析數(shù)據(jù)。氣體監(jiān)測和分析的重要性隨著晶片的幾何結(jié)構(gòu)縮小，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態(tài)雜質(zhì)的沾污和的塵埃污染，也會給生產(chǎn)帶來嚴(yán)重的破壞性。
一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大，但對純度要求不高。特種氣體產(chǎn)銷量雖小，但根據(jù)不同的用途，對不同特種氣體的純度或組成、有害雜質(zhì)允許的i高含量、產(chǎn)品的包裝貯運(yùn)等都有極其嚴(yán)格的要求，屬于高技術(shù)，高附加值產(chǎn)品。通常，可以將特種氣體分為三類，即高純或超高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)校正氣體和具有特定組成的混合氣體。因為氣體產(chǎn)品的應(yīng)用覆蓋面大，一般將氣體的生產(chǎn)和供應(yīng)與供電、供水一樣，作為工業(yè)投資環(huán)境的基礎(chǔ)設(shè)施，被視為國民經(jīng)濟(jì)“命脈”而列為公用事業(yè)行業(yè)。
氣體我們都知道，但是具體的我們卻說不出來，由于氣體分為單質(zhì)氣體、多元?dú)怏w、混合氣體和有機(jī)化合物氣體等，所以可將組成氣體的物質(zhì)（或元素）稱為該氣體成分。因此氣體純度的含意可理解為：除本氣體成份外，所含其它物質(zhì)的多少。工業(yè)氣體是商業(yè)制造，出賣作其他應(yīng)用氣體，它們是有機(jī)物或無機(jī)物。有空氣分離，提取或化學(xué)合成；而采用液體、氣體或者固體各種形態(tài)。
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